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表面粗糙度怎么測？Ra、Rz、Rq 參數與四類方法對比
2026-9-20
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一、測量需求背景表面形貌測量通常關注三類指標：臺階高度、粗糙度與三維形狀。其中粗糙度描述表面微觀起伏的統計特征，不直接對應某一具體結構尺寸，卻通過摩擦磨損、密封配合、疲勞壽命、光學散射、膜層附著等過程影響產品表現。在半導體與精密光學制造中，粗糙度更多出現在工序中間而非終檢環節。化學機械拋光（CMP）后的表面質量決定外延生長質量與柵氧界面狀態；鍍膜前的基底粗糙度會影響膜層附著力，同時干擾后續的膜厚光學測量，表面過粗會使反射信號明顯減弱。因此粗糙度測量的核心問題不是"能不能測"，... -
Filmetrics F40 光學膜厚儀在醫用球囊上的應用
2026-9-18
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一、背景與問題醫用球囊是一種由導管引入人體腔道或血管、通過充氣或充液實現擴張、支撐或藥物釋放的醫療器械，廣泛應用于心血管、泌尿、消化等領域的疾病治療，主要用于以下幾種功能。·擴張狹窄：這是最基本也是最重要的功能，通過物理擴張力撐開狹窄的管腔（血管、消化道、氣道、泌尿道等），恢復管腔的通暢性。·解除梗阻：通過擴張狹窄的通道，如前列腺增生，解除管腔的梗阻，恢復血液、尿液、食物、膽汁、氣體等的正常流動。·輸送與錨定器械：作為功能性植入物的載體，將支架或瓣膜等植入性醫療器械精確送到目...
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從開爾文電橋到R系列，KLA四探針薄膜方阻測試儀的百年傳承與革新
2026-9-17
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故事的起點，一段跨越160年的技術史詩1861年，一位名叫威廉·湯姆森（WilliamThomson）的英國物理學家，也就是后來被封為開爾文勛爵的那位。發明了一種測量極低電阻的方法。他用四根獨立的引線來消除測試引線電阻和接觸電阻帶來的誤差，這就是后來被稱為開爾文四線檢測或四端法的測量技術。這項發明在當時或許并未引起太多波瀾。然而，湯姆森不會想到，他這套思路會在一個多世紀后，成為半導體工業中最核心的工藝監控手段之一。1920年，Schlunberger將四探針原理第一次付諸實際...
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Filmetrics F20 光學膜厚儀的誕生與演變
2026-9-17
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在薄膜測量領域，FilmetricsF20膜厚儀是一款很有代表性的產品。從1995年問世到現在，它賣了將近三十年，全球累計出貨量早已上萬臺，至今依然是很多實驗室和產線上的常用設備。這篇文章想聊聊F20膜厚儀這款機器是怎么來的、經歷了哪些重要變化，以及它和中國的故事。一、F20膜厚儀的誕生1995年之前，市面上能做薄膜厚度測量的儀器價格很高，一臺商用膜厚儀通常要五萬美元甚至更多。操作這些設備也十分繁雜，需要經過專業培訓，測一次樣品往往要花幾分鐘甚至幾小時。對于很多中小型企業和高...
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3D光學輪廓儀的工作結構與檢測原理是什么？
2026-9-16
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3D光學輪廓儀是一種非接觸式精密表面檢測儀器，主要用于獲取工件表面的三維微觀形貌與幾何參數。在精密加工、光學器件、半導體、模具制造等行業，工件表面的粗糙度、平面度、微觀紋路、凹凸缺陷等指標，直接影響產品的使用性能與適配精度。傳統接觸式檢測方式容易對薄壁、軟質工件造成劃痕損傷，檢測范圍有限，而3D光學輪廓儀依托光學成像與干涉測量技術，可實現無損、大面積的表面形貌采集，適配各類精密工件的檢測需求。該設備通過光學鏡頭與精密掃描組件采集樣品表面信息，結合系統算法重構三維立體圖像，可量...
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光學表面輪廓儀：從微觀形貌到宏觀幾何的精密解析
2026-9-14
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光學表面輪廓儀是一種集光、機、電于一體的高精度檢測設備，主要用于分析物體表面的微觀與宏觀幾何形貌。它利用激光位移傳感器或白光干涉等光學原理，在不接觸被測物體表面的情況下，快速獲取其三維輪廓數據。這種非接觸式的測量方式，不僅避免了傳統觸針式儀器可能劃傷樣品的風險，還能有效應對軟質材料、易變形表面以及復雜曲面的檢測需求，廣泛應用于半導體、精密加工、航空航天及科研實驗等領域。在實際應用中，光學表面輪廓儀能夠對粗糙度、臺階高度、薄膜厚度、波紋度等多種參數進行量化分析。設備通常配備高分...
